PARKER膜片減壓閥結(jié)構(gòu)分析
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產(chǎn)品名稱: PARKER膜片減壓閥結(jié)構(gòu)分析
產(chǎn)品型號: PHS520D-02-110V-DL
產(chǎn)品展商: PARKER/DENISON
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
PARKER膜片減壓閥結(jié)構(gòu)分析
產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提*了MFC(質(zhì)量流量控制器)的**，這對半導(dǎo)體**的重復(fù)性和產(chǎn)量至關(guān)重要。
PARKER膜片減壓閥結(jié)構(gòu)分析
的詳細(xì)介紹
PARKER膜片減壓閥結(jié)構(gòu)分析
派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場上先進(jìn)的微型超*純減壓閥。
產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提*了MFC(質(zhì)量流量控制器)的**，這對半導(dǎo)體**的重復(fù)性和產(chǎn)量至關(guān)重要。
產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對半導(dǎo)體應(yīng)用中至關(guān)重要的的過程污染.
減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提*出色響應(yīng)。
產(chǎn)品采用自動定心束縛膜片設(shè)計，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，
這樣大限度減少粒子生成和截留，進(jìn)—步提*工藝清潔度和吹掃**
SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。
閥體材料為內(nèi)部電解拋光Vericlean316L不銹鋼。Vericlean”是派克公司的UHP超*純級不銹鋼。
膜片和閥芯材料為哈氏合金C-22R。這些材料與SMSQ2Micro系列設(shè)計特點相結(jié)合，
使SMSQ2Micro系列具有強(qiáng)耐腐蝕性和更*循環(huán)壽命，入口壓力*達(dá)250.
SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規(guī)范.
SMSQ2Micro系列減壓閥的內(nèi)部(閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，
使用質(zhì)譜儀以獲得在苛刻超*純應(yīng)用中的**和穩(wěn)定性
·有C和W密封貼面安裝1-1/8和1-1/2
閥體尺寸·極低粒子數(shù)
·腐蝕性和特殊氣體·半導(dǎo)體工具
·工具掛鉤.氣體柜
·半導(dǎo)體·分析試驗室·制藥
·生物制藥·航空航天·工業(yè)
·束縛膜片有效減少接液部件的彈簧，增加安全性. SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E0.15 Cv·出口壓力范圍:-10 psig 到60 psig
·內(nèi)漏率:≤5x10-8 scc/sec立方厘米/秒He·外漏率:二2x10-10 scc/sec立方厘米/秒He·5微英寸(Ra粗糙度)電解拋光表面處理
·工作壓力范圍:-40°F至+150° F(-40°C至+66°℃)
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